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主動(dòng)消磁的結(jié)構(gòu)組成以及相關(guān)特點(diǎn)

2020-10-26 [1206]
  現(xiàn)今的高性能電子束儀器對(duì)變化的環(huán)境磁場(chǎng)非常敏感。當(dāng)周遭的磁場(chǎng)改變時(shí)會(huì)使電子顯微鏡的電子束產(chǎn)生偏折并造成影像解析度或測(cè)量精度下降。主動(dòng)消磁系統(tǒng)系統(tǒng)可降低環(huán)境交流磁場(chǎng)并恢復(fù)分辨率和精度。
  主動(dòng)消磁系統(tǒng)主要是由磁場(chǎng)控制器、一或兩個(gè)感測(cè)探頭及三軸向多芯的線圈組成,并安裝在電鏡房間內(nèi)以產(chǎn)生反向磁場(chǎng)并改善外部磁場(chǎng)問題。
  系統(tǒng)針對(duì)外部磁場(chǎng)變化為自動(dòng)響應(yīng),響應(yīng)時(shí)間小于100微秒。AC線路場(chǎng)(50/60 Hz)減 少50 x。
  主動(dòng)消磁系統(tǒng)無法消除電梯、火車和交通等直流電場(chǎng) 變化干擾源。若需要同時(shí)消除交流磁場(chǎng)與直 流磁場(chǎng)的話可以參考另一款SC24主動(dòng)式消磁器
  主動(dòng)消磁系統(tǒng)特點(diǎn):
  1、當(dāng)今高精電子束設(shè)備對(duì)環(huán)境磁場(chǎng)及其動(dòng)態(tài)變化是非常敏感的。環(huán)境磁場(chǎng)使電子束產(chǎn)生偏移,從而導(dǎo)致設(shè)備分辨率和測(cè)量精度的減低。
  2、主動(dòng)消磁系統(tǒng)由磁場(chǎng)控制單元、一兩個(gè)交流或直流磁場(chǎng)傳感器以及裝在待消磁房間里的三根多芯電纜(三維空間線圈)組成,是一種三維的交直流磁場(chǎng)補(bǔ)償系統(tǒng)。
  3、傳感器測(cè)量空間環(huán)境中交直流磁場(chǎng)及其變化量,磁場(chǎng)控制單元以實(shí)時(shí)負(fù)反饋環(huán)路控制方式調(diào)節(jié)三個(gè)線圈中的電流來創(chuàng)建一個(gè)與環(huán)境磁場(chǎng)變化相反的磁場(chǎng)信號(hào),抵消環(huán)境磁場(chǎng)給電子束設(shè)備帶來的影響,恢復(fù)設(shè)備應(yīng)有的分辨率和精度。
  4、這是一個(gè)動(dòng)態(tài)系統(tǒng),對(duì)磁場(chǎng)躍變自動(dòng)響應(yīng)的速度在100微秒以內(nèi)。
  5、市電(50/60 Hz)頻率的交流背景磁場(chǎng)可被消除至75分之一;直流背景磁場(chǎng)可被消除至200分之一。
  主動(dòng)消磁系統(tǒng)的線圈由一個(gè)完整回路和一段連接控制器的線路組成。完整回路創(chuàng)建一個(gè)區(qū)域的消除磁場(chǎng),而另一段連接控制器的線路(此段沒有消除磁場(chǎng)的功能)則連接到磁場(chǎng)控制器。完整回路以1個(gè)紅色,綠色和藍(lán)色代表X、Y、Z軸。SC22線圈的X軸和Y軸完整回路長16米,Z軸回路則為20米長。若客戶端有個(gè)別需求,可以定制更長的線圈來解決。
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