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Filmetrics F20 白光干涉膜厚測量儀是一款高精度、多功能的測量設(shè)備，能夠快速測定薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)、反射率和透過率等特性。其非接觸式測量方式適合各種脆弱或敏感材料，具備納米級分辨率，測量范圍廣（1nm-3mm）。該儀器適用于多種應(yīng)用場景，包括半導(dǎo)體、光學(xué)、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。F20膜厚儀可在數(shù)秒內(nèi)提供準(zhǔn)確的測量結(jié)果，支持單層及多層薄膜分析，為科研和工業(yè)生產(chǎn)提供可靠支持。

型號：F20-UV/F20-NIR/F20-EXR

更新日期：2025-04-25

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借助F54-XYT-300薄膜厚度測量儀的光譜反射系統(tǒng)，可以快速輕松地測量200 x 200mm樣品的薄膜厚度電動XY工作臺自動移動到選定的測量點并提供快速的厚度測量，達到每秒兩點。您可以從數(shù)十種預(yù)定義的極性，矩形或線性測量坐標(biāo)圖案中選擇，也可以創(chuàng)建自己編輯的不受限制的測量點數(shù)量。此桌面系統(tǒng)只需幾分鐘即可完成設(shè)置，任何具有基本計算機技能的人都可以使用。

型號：F54-XYT-300

更新日期：2024-07-24

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借助F54-XY-200薄膜厚度測量儀光譜反射系統(tǒng)，可以輕松地測量尺寸達200 x 200mm樣品的薄膜厚度電動XY工作臺自動移動到選定的測量點并提供厚度測量，達到每秒兩點。您可以從數(shù)十種預(yù)定義的極性，矩形或線性測量坐標(biāo)圖案中選擇，也可以創(chuàng)建自己編輯的測量點數(shù)量。此桌面系統(tǒng)只需幾分鐘即可完成設(shè)置，任何具有基本計算機技能的人都可以使用。

型號：F54-XY-200

更新日期：2024-07-24

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-Filmetrics光學(xué)膜厚測量儀：F32的光譜分析系統(tǒng)采用半寬的3U rack-mount底盤，加上附加的分光計，可達到四個不同的位置（EXR和UVX版本多兩個位置）。F32軟件可以通過數(shù)字I/O或主機軟件來控制啟動/停止/復(fù)位測量。測量數(shù)據(jù)可以自動導(dǎo)出到主機軟件中進行統(tǒng)計過程控制。Filmetrics還提供可選的透鏡組件，以便于集成到現(xiàn)有的生產(chǎn)裝置上。

型號：F32

更新日期：2024-07-24

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-Filmetrics膜厚測量儀 F60-t 系列就像我們的 F50產(chǎn)品一樣測繪薄膜厚度和折射率，但它增加了許多用于生產(chǎn)環(huán)境的功能。 這些功能包括凹槽自動檢測、自動基定、全封閉測量平臺、預(yù)裝軟件的工業(yè)計算機，以及升級到全自動化晶圓傳輸?shù)臋C型。

型號：F60

更新日期：2023-06-05

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-Filmetrics膜厚測量儀-F54系列的產(chǎn)品能以一個電動R-Theta 平臺自動移動到選定的測量點以每秒測繪兩個點的速度快速的測繪薄膜厚度, 樣品直徑達450毫米 可選擇數(shù)十種內(nèi)建之同心圓,矩形,或線性圖案模式,或自行建立無數(shù)量限制之測量點.僅需具備基本電腦技能的任何人可在數(shù)分鐘內(nèi)自行建立配方

型號：F54

更新日期：2023-07-24

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-Filmetrics光學(xué)薄膜厚度測量儀：依靠F50的光譜測量系統(tǒng)，可以很簡單快速地獲得大直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用r-θ極坐標(biāo)移動平臺，可以非常快速的定位所需測試的點并測試厚度，測試非常快速，大約每秒能測試兩點。用戶可以自己繪制需要的點位地圖。F50系統(tǒng)配置高精度使用壽命長的移動平臺，確保能夠做成千上萬次測量。

型號：F50

更新日期：2023-06-05

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Filmetrics F40-EXR 搭配 SS-Microscope-EXR-1系統(tǒng) -Filmetrics膜厚測量儀的精密光譜測量系統(tǒng)讓用戶簡單快速地測量薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù)，通過對待測膜層的上下界面間反射光譜的分析，幾秒鐘內(nèi)就可測量結(jié)果。當(dāng)測量需要在待測樣品表面的某些微小限定區(qū)域進行，或者其他應(yīng)用要求光斑小至1微米時，F(xiàn)40是不錯的選擇。

型號：F40

更新日期：2023-06-05

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