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KLA P-7 探針式臺(tái)階儀是KLA公司的探針式臺(tái)階儀系統(tǒng)。KLA P-7 探針式表面輪廓儀建立在P-17臺(tái)式探針輪廓分析系統(tǒng)的成功基礎(chǔ)之上。它保持了P-17技術(shù)的測(cè)量性能，并作為臺(tái)式探針輪廓儀平臺(tái)提供了性?xún)r(jià)比。KLA P-7 探針式臺(tái)階儀可以對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量，其掃描可達(dá)150mm而無(wú)需圖像拼接。

型號(hào)：P-7

更新日期：2025-06-25

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KLA P-170 全自動(dòng)探針式表面輪廓儀一款盒對(duì)盒型臺(tái)階儀，具有KLA P-17 探針式表面輪廓儀的臺(tái)式系統(tǒng)測(cè)量性能和HRP260系統(tǒng)經(jīng)生產(chǎn)驗(yàn)證的處理程序。該系統(tǒng)提供了一個(gè)可編程的掃描平臺(tái)、低噪音和整個(gè)垂直范圍內(nèi)的亞安格倫電子分辨率，可以在樣品表面的任何地方進(jìn)行高分辨率掃描。

型號(hào)：P-170

更新日期：2025-06-25

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KLA P-17 探針式臺(tái)階儀是P系列探針式臺(tái)階儀的產(chǎn)品。該系統(tǒng)具備可編程掃描平臺(tái)、低噪聲電子分辨率，垂直范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高分辨率掃描，能夠覆蓋樣品表面整個(gè)區(qū)域。KLA P-17 探針式臺(tái)階儀的優(yōu)點(diǎn)包括200mm掃描平臺(tái)，可以在無(wú)需拼接的情況下測(cè)量整個(gè)基片。UltraLite傳感器組件結(jié)合了線(xiàn)性垂直測(cè)量和恒定力控制，可測(cè)量各種材料和地形。

型號(hào)：P-17

更新日期：2025-06-25

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KLA D600 探針式表面輪廓儀采用光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率、較大的高度測(cè)量范圍和準(zhǔn)確的微力控制。探針的接觸式測(cè)量技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)是直接測(cè)量，與材料特性無(wú)關(guān)。多種力度調(diào)節(jié)和探針尺寸選擇可以讓機(jī)臺(tái)對(duì)各種結(jié)構(gòu)和材料進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量。這些功能可以表征因添加或移除材料而引起的形貌特征改變，以及測(cè)量由材料結(jié)構(gòu)改變引起的粗糙度和應(yīng)力變化。

型號(hào)：D-600

更新日期：2025-06-25

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KLA D500 探針式表面輪廓儀的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率、較大的高度測(cè)量范圍和準(zhǔn)確的微力控制。探針的接觸式測(cè)量技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)是直接測(cè)量，與材料特性無(wú)關(guān)。多種力度調(diào)節(jié)和探針尺寸選擇可以讓機(jī)臺(tái)對(duì)各種結(jié)構(gòu)和材料進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量。這些功能可以表征因添加或移除材料而引起的形貌特征改變，以及測(cè)量由材料結(jié)構(gòu)改變引起的粗糙度和應(yīng)力變化。

型號(hào)：D-500

更新日期：2025-06-25

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